Seminar INFLPR, Vineri, 07.07.2017 ora 10:30, Laboratorul PTJ - 260, Dr. C. STANCU: "Studii de diagnostică a plasmelor utilizate pentru mentenanţa componentelor optice şi evidentierea efectelor de modificare morfologică şi compoziţională"

INFLPR Seminar

Friday, 7 July 2017, 10:30 am

LTP Laboratory - 260, NIMP Seminar Room

Contract number: 4N/2016

Project 1: PN 16 47 01 01, "Advanced research on matter in extreme conditions"

Phase no. 13: "Studii de diagnostică a plasmelor utilizate pentru mentenanţa componentelor optice şi evidentierea efectelor de modificare morfologică şi compoziţională produse asupra unor suprafeţe de test contaminate intenţionat"

Deadline: 15.05.2017

Responsible: Dr. G. DINESCU

Lecturer: Dr. C. STANCU

Abstract: Pentru a evidentia efectele produse de plasmele de radiofrecventa generate la presiune joasa asupra suprafetelor contaminate au fost depuse pe siliciu, ca straturi contaminante, filme subtiri de a-C:H. Suprafetele acoperite cu a-C:H au fost expuse in plasme de radiofrecventa generate la presiuni joase in argon. Experimentele au urmarit testarea eficientei de curatare a doua surse de plasma diferite: sursa cu electrod central de putere si sursa cu electrozi circulari exteriori.
Pe suprafetele acoperite cu a-C:H au fost realizate masuratori de elipsometrie, profilometrie si AFM atat inainte cat si dupa expunerea lor in plasma. Din masuratori rezulta faptul ca suprafețele expuse in plasma se curata in urma expunerii lor in plasma, rugozitatea acestora scade si reflectivitatea creste. S-au obtinut rate de curatare a straturilor de a-C:H cuprinse intre 5,3*10-1 nm/min si 1,46 nm/min in cazul sursei cu electrod de putere central si intre 0 si 2,16 nm/min in cazul sursei cu electrozi exteriori.