Seminar INFLPR, Joi, 11 Iulie 2019, ora 10:00, Laboratorul FPFN, Dr. Tomy Acsente: Optimizarea procesului MSGA (pulverizare magnetron si agregare in flux de gaz) in vederea controlului dimensiunii nanoparticulelor de W si a stabilizarii ratei de depunere

Seminar INFLPR

Joi, 11 Iulie 2019, ora 10:00

Laboratorul FPFN-220, sala de seminar a INFM

Contractul nr. 16N /2019

Proiectul: "Cercetari emergente de laseri, plasma, radiatii si aplicatiile lor in domeniile de specializare inteligenta si interes public"

Faza nr. 9: "Optimizarea procesului MSGA (pulverizare magnetron si agregare in flux de gaz) in vederea controlului dimensiunii nanoparticulelor de W si a stabilizarii ratei de depunere"

Termen: 14.06.2019

Responsabil faza: Dr. Tomy Acsente

Prezinta: Dr. Tomy Acsente

Rezumat: In cadrul INFLPR (Laboratorul Plasma de Temperatura Joasa, grupul Procese in Plasma pentru Materiale Functionale si Suprafete) a fost implementata in anii precedenti un sistem experimental pentru producerea nanoparticulelor de W folosind o metoda bazata pe plasma: imprastiere magnetron si condensarea vaporilor metalici in flux de gaz inert (MSGA). Operarea sursei de nanoparticule de tip MSGA in Ar pentru producerea nanoparticulelor de W are un dezavantaj major: rata de sinteza a nanoparticulelor scade la zero in un interval finit de timp (maxim 30 minute), limitand cantitatea de nanoparticule produse intr-o sarja de depunere. In urma studiilor efectuate in aceasta etapa s-a implementat o metoda experimentala prin care se elimina acest dezavantaj. Metoda are la baza introducerea intentionata si controlata a unui gaz (H_2 ) in descarcarea magnetron pe langa gazul principal de lucru (Ar), pentru a stimula procesul de nucleatie al nanoparticulelor de W. Aceasta procedura experimentala asigura o rata de depunere constanta in timp a nanoparticulelor. In plus, se pastreaza caracterul metalic al nanoparticulelor sintetizate. Tot in aceasta etapa de proiect a fost efectuat un studiu parametric al procesului de sinteza al nanoparticulelor de W. In timpul studiului au fost produse mostre de nanoparticule care au fost investigate prin microscopie electronica SEM, in vederea determinarii distributiei dimensiunilor nanoparticulelor pe fiecare proba. In urma investigatiilor a fost stabilita o corelatie intre parametrii considerati si dimensiunile nanoparticulelor sintetizate. In acest mod s-a stabilit o modalitate de control eficienta a dimensiunii nanoparticulelor prin modificarea adecvata a unui parametru experimental (presiunea in sursa MSGA) si/sau a unuia constructiv (diametrul duzei de extractive a sursei MSGA).